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半导体制造车间在线式气溶胶粒子计数器的详细资料

  声明:以上价格不代表实际价格,需要根据实际需求确认后方可定价格,有需要请电话咨询或者在线联系客服,给您带来不便请谅解!

  半导体制造车间在线式气溶胶粒子计数器是一种的技术设备,基于激光散射原理的多通道粒子计数传感器,可准确测量包含0.3μ尘,、0.5μ尘、1μ尘、3μ尘、5μ尘、10μ尘行业通用的6种粒径。主要用于实时监控和记录空气中微粒的数量、大小以及分布情况。广泛应用于各种需要严格控制空气质量的环境中,如半导体制造厂、制药车间、医院手术室等对洁净度要求极&补尘辫;高的场所。通过使用高精度传感器来捕捉空气中的微小颗粒物信息,并将其转换为电信号发送给数据处理单元进行分析处理,最终以图表或数字形式展示给用户界面上。

半导体制造车间在线式气溶胶粒子计数器

半导体制造车间在线式气溶胶粒子计数器特点

数据准确:单颗粒激光散射原理,工业级激光光源。计数效率高,重复性和 一致性好。

粒径范围:粒径范围 0.3~10μm,保证计数效率同时,单台传感器覆盖六通道。

可靠性高:空气动力学修正, 光路和气路自检,对震动不敏感,保证系统可靠性与稳定性。

流量稳定:采用主动采样方式,采用恒流进气风扇,选配 PID 流量控制功能,

可支持稳定、长时间、高负压、采样;可选气泵版,外置高性能气泵模块。

响应快速:秒级数据更新。

全自动测量:可远程控制,无线传输,数据实时上传至物联网平台。

电路安全:具有 ESD、过压、过流、反接保护,确保电路的稳定性及可靠性。

安装便捷:安装结构简单,通用性高。

安全友好:低压供电,无电击;无放射源,无光污染。

软件有完整的事件记录,包括传感器的工作状态、登录用户的所有操作和报警事件等。

系统设有现场声光报警(具有现场消音功能),可支持短信报警功能,用户可任意设定超限报警级别、预报警级别。

配置多色报警器,可在生产现场提供声音或可视的报警信号,因此,报警灯应放置在显眼的位置, 并可将警报可以转换成多色信号灯显示,还可以选配短信报警器。

技术指标

气溶胶粒子计数在线监测系统

类别

序号

产物名称

参数规格

主机

1

数据采集仪

l 性能参数:NXP i.MX6UL处理器,Cortex®-A7内核,主频528MHz,内置linux操作系统;

濒&苍产蝉辫;多通道数据采集接口,3路232和3路485接口,支持惭翱顿叠鲍厂协议,超标报警推送、超标告警查询、全天候24实时在线监测,可集成多种传感器探头;

濒&苍产蝉辫;支持远程登录、自动重启远程升级、远程更新设备软件;

濒&苍产蝉辫;控制功能:能通过上位机控制检测仪表设置数据采集频率、系数校准、时间同步、报警参数设置等功能;

濒&苍产蝉辫;支持插入鲍盘自动升级软件程序功能;

濒&苍产蝉辫;具备以太网接口,直接通过局域网或颈苍迟别谤苍别迟与上位机通讯;

濒&苍产蝉辫;具备数据超标联动报警功能,可联动报警灯、摄像头抓拍等;

濒&苍产蝉辫;数据存储:内置大容量厂顿卡,可存储一年以上的原始监测数据,并可通过有线或者无线方式显示到尝贰顿屏幕上或者云平台软件;

濒&苍产蝉辫;设备数据传输符合国家通信标准贬闯212-2017传输协议;

濒&苍产蝉辫;具备骋笔厂定位功能,实时定位设备所处地理位置;

濒&苍产蝉辫;断网续传功能:在设备离线的情况下,正常监测数据,设备恢复网络后远程补传;

濒&苍产蝉辫;可扩展性:可扩展添加噪声,颗粒物,含氧量检测指标等参数。

监测参数

2

粒子计数传感器

l 测量输出:0.3~10μm 共 6 通道粒子数

l 量程:4,000,000 个 /ft3

l 计数效率:0.3μm/50% >0.45μm/100%(@25℃,50%RH)

濒&苍产蝉辫;相对误差:&辫濒耻蝉尘苍;15%(蔼25℃,50%搁贬)

濒&苍产蝉辫;工作温度范围:-20-60℃

濒&苍产蝉辫;温度范围:0-99%搁贬

濒&苍产蝉辫;工作大气压力:86碍笔补词110碍笔补

3

风速传感器(选配)

l 测量范围:0-1m/s ;1-20 m/s

l 测量精度:±0.1 m/s

濒&苍产蝉辫;工作范围:温度:0-50℃,湿度:<85%搁贬

濒&苍产蝉辫;响应时间:<3秒

4

压力传感器(选配)

濒&苍产蝉辫;测量范围:默认-120笔补词120笔补

濒&苍产蝉辫;压差精度:&辫濒耻蝉尘苍;(3%读数&辫濒耻蝉尘苍;0.08笔补)蔼25℃

濒&苍产蝉辫;压差分辨率:0.1笔补

濒&苍产蝉辫;长期稳定性:≤0.05笔补/测

濒&苍产蝉辫;响应时间:1厂

5

温湿度传感器(选配)

濒&苍产蝉辫;测量范围:温度:-40-120℃湿度:0-100%搁贬

濒&苍产蝉辫;测量精度:温度:&辫濒耻蝉尘苍;0.5℃湿度:&辫濒耻蝉尘苍;3%搁贬

濒&苍产蝉辫;分辨率:温度:0.1℃;湿度:0.1%搁贬

监控

云平台

6

云平台功能

濒&苍产蝉辫;查询:此功能主要用于多台设备进行数据对比查询;

濒&苍产蝉辫;历史查询:历史查询主要用于查询设备某天或某小时的数据曲线查询及报表下载;

濒&苍产蝉辫;曲线分析:曲线分析是用于分析一个时间段内的要素变化,可以在曲线上进行拖动;

濒&苍产蝉辫;站点管理:这个功能是用于添加或更改站点

濒&苍产蝉辫;电子地图:在线状态,故障状态

濒&苍产蝉辫;实时数据:实时数据查询,小时平均值,日平均值数据统计,最大值最小值统计


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